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线光谱共焦位移传感器
原理:将原来点光谱共焦的点光源扩展为线光源。并通过高速的数据处理,在反馈的线光谱信号上采样多个点信号组成数据序列,用点云处理的方式可以得到被测物的高精度扫描轮廓并输每个位置的高精度高度数据。特点1:立仪科技开发的线光谱共焦传感器与市面上基于三角法的线光谱原理不同,三角法原理线光谱对狭缝,深孔等特征无法测量,而立仪科技开发的线光谱特性则与点光谱相同,垂直向下测量,狭缝,深孔等特征依然可测特点2:
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线激光位移传感器3D工业视觉传感器
新型LS系列3D工业视觉传感器基于激光三角反射原理,适用于各种工业应用。基于自主研发的CMOS成像芯片,扫描速度快,可提供出色的图像效果和可靠的测量结果。LS系列3D视觉传感器易于使用并且可以轻松集成,出厂已校准,是系统集成商的高性价比选择方案。
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HM5-160全自动检测系统
1、高速度、高精度测量系统。 2、最大160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5μm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
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HM-S100半自动检测系统
1、非接触光学测量系统。 2、应对各种材质,重复测量精度≦0.5μm。 3、高速采样,最快周期20μs。 4、强大的CPK统计功能。 5、吸附系统及高精度位移系统。 6、测量轮廓、断差、槽深、高度等。
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白光干涉仪
该产品由膜厚仪主机、上位机 PC 软件、光纤组成。用一束准单色平行光照射多层薄膜, 光波会在第 1 到 n 层之间来回多次折射、反射进而形成多个相干光束。这些相干光束进行相 干叠加后,携带多层薄膜的相干信号并沿原路返回。不同波长的准单色光照射薄膜后,携带 的干涉信号不一样。如果用一束含有多种波长的准单色光照射薄膜后,提取各个波段的干涉 信号,通过 OCD 自主知识产权的算法进行反演计算,便可获得每一层薄膜材料...